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Programación Matemática y Software
Universidad Autónoma del Estado de Morelos
Dr.Marco Antonio Cruz Chávez
2007-3283
Volumen 7, Número 3/Octubre del 2015
Periodo Octubre-Enero 2016
Artículo de Investigación
64-71
Computación
Octubre del 2015
Cuatrimestral

Margarita Tecpoyotl-Torres, Pedro Vargas-Chable, Ramón Cabello-Ruíz y M. A. Flores González

Recibido:12 de abril del 2015 Aceptado: 9 de septiembre del 2015 Publicado en línea:30 octubre 2015

Resumen. En este artículo se presenta el análisis y diseño de una estructura chevrón MEM con reguladores de movimiento, actuada por calor. La estructura se analiza considerando diferentes ángulos de inclinación, número de brazos y formas de reguladores de movimiento, con la intención de obtener un mayor desplazamiento de la flecha. Los diseños se realizaron en Autodesk Inventor y las simulaciones en AnsysWorkbench 15.0. Se presentan además, comparaciones del desempeño de la estructura con respecto al chevrón convencional.

Palabras claves: Regulador de movimiento, microestructura, frecuencia natural, fuerza y desplazamiento.

Abstract.This paper presents the analysis and design of a MEMS chevron structure with motion regulators, actuated by heat. The structure is analyzed considering different inclination angles, beams number and shapes of bosses, in order to provide a larger shuttle displacement. Designs were development in Autodesk Inventor and simulations in Ansys Workbench 15.0. In addition, a performance comparison respect to conventional chevron was realized.

Keywords: Boss, microstructure, natural frequency, force, and displacement.